Устюгов Егор Александрович
Метрология внешних нарушений твердых структур с автоматизированным управлением
Аннотация: Метрология нарушений с автоматизированным управлением исследуемых образцов в микроскопе подразумевает в себе модернизирование существующего модуля, для автоматического управления ручного двухкоординатного предметного столика. Эффективность такого метода от ручного заключается в том, что контроль поверхности будет проходиться абсолютно по всей площади исследуемого образца, что не позволит упустить какую – либо микроскопическую площадь с дефектом.
Читать статью
685